您好!歡迎訪問上海磊建建筑裝飾工程有限公司

設(shè)為首頁| 在線留言| 網(wǎng)站語言: 中文 EN

7*24H咨詢熱線:131 2214 6666

Contact us聯(lián)系我們
聯(lián)系人:徐先生
手機(jī):131 2214 6666
熱線:4000-666-286
QQ:2389931322
郵箱:tony.xu@asia-const.com

凈化知識

當(dāng)前位置:首頁 - 凈化工程資訊 - 凈化知識

半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室裝修、千級超凈間建設(shè)工程及方案-電子潔凈車間裝修

發(fā)布者:磊建凈化

發(fā)布時間:2021-11-27

點(diǎn)擊量:0

  千級潔凈車間裝修的應(yīng)用較為廣泛,在醫(yī)院手術(shù)室、機(jī)械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計(jì)中潔常有使用。千級潔凈車間指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個以內(nèi),同時為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染,在室內(nèi)壓差上也有所要求,通常要求內(nèi)部壓力(靜壓)>外部壓力(靜壓);潔凈度要求高的空間壓力>潔凈度要求低的空間壓力;潔凈車間門的朝向應(yīng)開向潔凈度級別高的房間。


半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室裝修、千級超凈間建設(shè)工程及方案-電子潔凈車間裝修


  隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求,工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高,尤其是5G熱潮襲來、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。


  更多的千級潔凈車間裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)和一般做法詳見下文


一、千級潔凈車間裝修潔凈車間裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)


潔凈車間等級標(biāo)準(zhǔn)


潔凈車間需要將一定范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將無塵室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),通常根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量,對潔凈車間進(jìn)行分類。潔凈車間的分類根據(jù)國家不同有不同的等級規(guī)定,目前世界各國雖有自訂規(guī)格,但普遍還是采用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。其中需要注意的,A、B、C、D級別的劃分是參照ISO標(biāo)準(zhǔn)(歐盟采納的方式),其本身包含了靜態(tài)要求和動態(tài)要求。舊版GMP采納的是美國的潔凈間劃分方式,舊版的潔凈間劃分僅有靜態(tài)的概念,不要求動態(tài)。在美國的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209(A至D)中,在一立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù),并且該計(jì)數(shù)用于對潔凈車間進(jìn)行分類。該標(biāo)準(zhǔn)的最新209E版本也接受該度量標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E在國內(nèi)使用。較新的標(biāo)準(zhǔn)是國際標(biāo)準(zhǔn)組織的TC 209。


這兩個標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量對潔凈車間進(jìn)行了分類。潔凈車間分類標(biāo)準(zhǔn)FS 209E和ISO 14644-1要求進(jìn)行特定的顆粒計(jì)數(shù)測量和計(jì)算,以對潔凈車間或潔凈區(qū)域的清潔度水平進(jìn)行分類。



1. 千級潔凈車間的建筑通常劃分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中裝配式更為普遍,主要包括由初級、中級、高級空氣過濾器構(gòu)成的空調(diào)送回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及其他配套系統(tǒng)。


2. 千級潔凈車間的室內(nèi)空氣參數(shù)設(shè)置要求:


① 溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。


② 新風(fēng)量:非單向流潔凈車間總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。


③ 送風(fēng)量:要滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。


 二、超凈無塵車間裝修要求


  1. 車間吊頂材料:采用FFU盲板或選用防火彩鋼板,吊頂內(nèi)須可上人,對承重要進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。


  2. 車間墻體裝修材料:采用防火彩鋼板,彩鋼板厚度為50mm,可以盡量有效的適用場地的占地面積,該彩鋼板在安裝時需要進(jìn)行接地處理,以到達(dá)排放靜電的功能。


  3. 車間地面裝修:一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材,但無塵車間內(nèi)須對上述兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。


千級超凈間建設(shè)工程及方案-電子潔凈車間裝修


  三、超凈無塵潔凈車間的空調(diào)設(shè)計(jì)方案


  1. 超凈無塵潔凈車間凈化原理


  在解決了普通裝修易產(chǎn)塵的問題后,超凈室重要的空間凈化措施為潔凈空調(diào)系統(tǒng),凈化空調(diào)機(jī)組通過風(fēng)機(jī)將室內(nèi)及室外的部分新風(fēng)先進(jìn)行初效過濾后,再進(jìn)行中效過濾,這兩級過濾在組合式凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)完成,然后用高靜壓風(fēng)機(jī)泵入管道,管道末端連接與室內(nèi)相同的特殊送風(fēng)箱,該送風(fēng)箱內(nèi)設(shè)置高效率過濾板,通過高效過濾器后的空氣進(jìn)入房間,通過潔凈車間空調(diào)系統(tǒng)工程師規(guī)劃的流動路線,帶走房間內(nèi)的微小塵埃,根據(jù)不同級別的凈化等級需要,上述過程需重復(fù)不同的次數(shù),這個問題在下一節(jié)將給出具體參數(shù)。


  2. 超凈無塵潔凈車間循環(huán)參數(shù)


 ?、?無塵車間按級別闡述房間換氣次數(shù):十萬級潔凈車間換氣次數(shù)每小時不能小于15次;萬級無塵車間換氣次數(shù)每小時不能小于20次;千級無塵室換氣次數(shù)每小時不能小于50次;百級超凈室和十級超凈棚不以換氣次數(shù)為標(biāo)準(zhǔn),以全天花送風(fēng)的方式送風(fēng),全地面回風(fēng)的方式回風(fēng),即增大送風(fēng)和回風(fēng)口所占面積的比例,計(jì)算凈化組合式空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是以送風(fēng)速度控制在0.3-0.5m/s來進(jìn)行反向推算。


  ② 超凈無塵潔凈車間的溫度和濕度控制范圍:冬季>攝氏16度,夏季<攝氏26度,波動范圍為±攝氏2度;濕度在45-65%之間,具體以生存的產(chǎn)品特點(diǎn)來確定,正常波動范圍在±5%,濕度同時在不同的數(shù)量值時對室內(nèi)的靜電也有特殊的效果,所以潔凈車間內(nèi)的濕度要綜合考慮;


 ?、?噪音控制:超凈無塵潔凈車間內(nèi)的噪音以工作人員的舒適度為主要依據(jù),國家噪音標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定工作環(huán)境內(nèi)的噪音應(yīng)控制在≤65dB。


  ④ 新風(fēng):為了室內(nèi)控制人員的舒適度問題,按照暖通通風(fēng)標(biāo)準(zhǔn)潔凈車間內(nèi)要適當(dāng)補(bǔ)充新風(fēng),新風(fēng)量按照人員數(shù)量計(jì)算,按50m3/h計(jì)算。


  四、光學(xué)超凈間設(shè)計(jì)關(guān)于空調(diào)材料的潔凈要求


  1. 空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)管道采用鍍鋅鋼板制作,考慮到風(fēng)壓較大,建議采用中壓法蘭式風(fēng)管,外部采用橡塑作為保溫材料,橡塑需為阻燃性,以保證消防防火安全。


  2. 高效送風(fēng)口可采用冷軋板制作,目前市面上有不銹鋼材質(zhì)高效送風(fēng)口,但根據(jù)永科的施工經(jīng)驗(yàn),不銹鋼高效送風(fēng)口強(qiáng)度較差,在高風(fēng)壓的狀態(tài)下容易變形。而且不銹鋼高效送風(fēng)口的誕生主要是用于食品企業(yè)SC生產(chǎn)潔凈車間,此類車間對細(xì)菌數(shù)量有嚴(yán)格要求,但凈化級別較低,僅為10級凈化,送風(fēng)量要求比較小,風(fēng)壓也較小,這與光學(xué)微電子超凈無塵車間的需求不一樣,所以不建議超凈無塵潔凈車間的空調(diào)系統(tǒng)使用。


  3. 回風(fēng)口須采用可開可調(diào)式風(fēng)口,不應(yīng)該采用固定百葉回風(fēng)口,超凈無塵潔凈車間內(nèi)須在回風(fēng)口安裝中效過濾器,同時在潔凈車間的日常使用維護(hù)中,也需要定期清洗,可開式風(fēng)口便于更換中效過濾器和衛(wèi)生清理;可調(diào)式風(fēng)口的作用主要是為了調(diào)節(jié)超凈無塵區(qū)域與普通潔凈區(qū)域的氣流組織,通過調(diào)節(jié)回風(fēng)口上的百葉,可達(dá)到調(diào)節(jié)室內(nèi)外壓差的作用。



半導(dǎo)體千級超凈間建設(shè)工程及方案-電子潔凈車間裝修


五、千級潔凈車間裝修的一般做法



關(guān)于千級潔凈車間裝修的一般做法,三仁將以電路板千級潔凈車間的三種設(shè)計(jì)方案來比較分析。此處案例為蘇州一個美資柔性電路板EPC總承包項(xiàng)目中的一個典型工藝房間,溫濕度要求在(21±2)℃,濕度控制在(55±10)%。


1. 方案一:AHU(空調(diào)機(jī)組)+HEPA(高效送風(fēng)口)


2. 方案二:MAU(新風(fēng)機(jī)組)+RAU(循環(huán)機(jī)組)+HEPA(高效送風(fēng)口)


3. 方案三:AHU(空調(diào)機(jī)組)+FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)


對比三種方案發(fā)現(xiàn)三種方案造價差異不大,但方案三由于使用了大量循環(huán)風(fēng)且只經(jīng)過一次高效過濾,在運(yùn)行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市場上,千級潔凈車間隨著FFU價格的降低,越來越受到設(shè)計(jì)師和建設(shè)方的喜愛。