半導(dǎo)體芯片實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)研究低維半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)材料(量子阱、量子線和量子點(diǎn)材料)、寬禁帶半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體光伏材料、特種薄膜材料等特殊條件下制備材料的生長工藝、結(jié)構(gòu)性能和光、電、磁、熱學(xué)等性質(zhì)。　半導(dǎo)體芯片檢測技術(shù)正朝著多樣化發(fā)展，目前最常用的檢測器是熒光和電化學(xué)檢測器。隨著固態(tài)電子器件的發(fā)展，芯片實(shí)驗(yàn)室是指將新型半導(dǎo)體材料直接與TFT電路或者CMOS電路集成，制備出成像、探測等多功能的芯片。下面磊建凈化來談?wù)劙雽?dǎo)體芯片實(shí)驗(yàn)室建設(shè)最新規(guī)劃方案和設(shè)計(jì)半導(dǎo)體檢測實(shí)驗(yàn)室需要注意的問題。

　　一、半導(dǎo)體芯片實(shí)驗(yàn)室建設(shè)最新規(guī)劃方案

　　半導(dǎo)體芯片實(shí)驗(yàn)室由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

　　1、室內(nèi)的噪聲級(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)

　　2、垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

　　3、與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

　　4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的值：

　　5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　6、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

　　7、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量。

　　二、設(shè)計(jì)半導(dǎo)體檢測實(shí)驗(yàn)室需要注意的問題

　　隨著化合物半導(dǎo)體市場的擴(kuò)大，對特殊氣體的需求不斷增加，外延生長需要大量超純源和工藝氣體。半導(dǎo)體工藝中使用的特殊氣體，由于種類繁多，質(zhì)量要求嚴(yán)格，對生產(chǎn)、充裝、運(yùn)輸、儲存都有技術(shù)和安全要求，需要多方面的積累。

　　半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類，主要包括：

　　1、硅族氣體：含硅基的硅烷類，如硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等。

　　2、摻雜氣體：含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等。

　　3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如氯氣、三氟化氮、溴化氫、四氟化碳、六氟乙烷等。

　　4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

　　5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢、三甲基鎵等。

　　(一)、半導(dǎo)體檢測實(shí)驗(yàn)室工作流程設(shè)計(jì)

　　實(shí)驗(yàn)室工作流程優(yōu)化與實(shí)驗(yàn)室整體與局部的布局相關(guān)，同時(shí)與實(shí)驗(yàn)室的硬件與軟件條件也有著密切聯(lián)系。除了布局的優(yōu)化和儀器設(shè)備的擺放位置的設(shè)計(jì)外，可以采用一些先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)室管理軟件，協(xié)助實(shí)驗(yàn)室工作人員優(yōu)化實(shí)驗(yàn)過程，從而達(dá)到提高工作效率，減少實(shí)驗(yàn)過程中人為因素對實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。

　　另外，完善的實(shí)驗(yàn)室管理制度，也是影響實(shí)驗(yàn)室工作流程的重要因素。

　　(二)、半導(dǎo)體檢測實(shí)驗(yàn)室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　通用實(shí)驗(yàn)室的夏季空氣調(diào)節(jié)室內(nèi)計(jì)算參數(shù)為：溫度26～28℃，相對濕度小于65%。專用實(shí)驗(yàn)室的空氣調(diào)節(jié)室內(nèi)計(jì)算參數(shù)應(yīng)按工藝要求確定?？照{(diào)系統(tǒng)的主要作用是控制實(shí)驗(yàn)室的溫濕度?？照{(diào)系統(tǒng)與實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)配合，才能真正有效地保證實(shí)驗(yàn)室的溫濕度和房間壓力的有效控制?？傊?，實(shí)驗(yàn)室對空調(diào)系統(tǒng)的要求，有別于普通辦公室或公共區(qū)域的空調(diào)系統(tǒng)，有其特殊性

  　(三)、半導(dǎo)體檢測實(shí)驗(yàn)室配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　實(shí)驗(yàn)室的配電系統(tǒng)是根據(jù)實(shí)驗(yàn)儀器和設(shè)備的具體要求，經(jīng)過專業(yè)的設(shè)計(jì)人員綜合多方面因素設(shè)計(jì)完成的，與普通建筑有很大區(qū)別。因?yàn)?，?shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備對電路的要求比較復(fù)雜，并不是通常人們所認(rèn)為的那樣，只要滿足Z大電壓和Z大功率的要求就可以了。事實(shí)上有很多儀器設(shè)備對電路都有特殊的要求。

　　我們在工程建設(shè)的過程中發(fā)現(xiàn)，大部分用戶在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)建設(shè)初期，都沒有充分考慮到實(shí)驗(yàn)室用電的特殊要求，甚至有的用戶和設(shè)計(jì)單位認(rèn)為實(shí)驗(yàn)室的用電量與一般的辦公室類似。這樣給后期實(shí)驗(yàn)室的運(yùn)行帶來了很大的麻煩。

　　對配電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，不但要考慮現(xiàn)有的儀器設(shè)備情況，同時(shí)也要考慮實(shí)驗(yàn)室?guī)啄甑陌l(fā)展規(guī)劃。充分考慮配電系統(tǒng)的預(yù)留問題及日后的電路維護(hù)等問題。